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Équipement de lithographie UV par projection d’occasion

Pour cause de double utilisation la plateforme de micro et nanotechnologies du LAAS-CNRS met en vente un équipement de lithographie UV par projection d’occasion. La remise en service complète nécessitera un investissement supplémentaire de l’ordre de 3k€

  • Equipementier : Ultratech modèle : 1500 numéro de série 1003
  • Substrats : 150mm et 100mm avec porte substrat adapté
    • réticule : 3x5inch
    • année de fabrication : décembre 1994
    • lampe UV : 200W (Hg)
    • lentille NA .24-.31
    • précision d’alignement : +/- 0.18μm

L’équipement nécessite un changement du laser : coût 3000€

Les maintenances ont été réalisées par la société Steppertech.

Le prix de l’instrument est fixé à 20000 euros à discuter.

L’équipement est à retirer au LAAS-CNRS Toulouse

Contact : mazenq@laas.fr