Notre réseau

Un réseau d'experts et d'équipements pour la fabrication en micro et nano technologie
LES 5 GRANDES CENTRALES
Saclay
Salle blanche : 2900 m² (ISO 4 à 7)
Thèmes recherche principaux : silicium pour la nanophotonique, spintronique, dispositifs optoélectroniques, microsystèmes, nanophotonique III-V, nano-électronique quantique, dispositifs optoélectroniques, microfluidique
Staff technique : 40 techniciens/ingénieurs
Équipements spécifiques : IV-IV epitaxy, Magnetic thin layers, E-Beam lithography, Deep-UV lithography, Direct laser writing, ICP deep etching of silicon, Optical vibrometry, III-V epitaxy (MBE, MOCVD), E-Beam lithography tools, III-V deep etching, NanoFIB, AFM/STM, nanoimprint lithography tools, STEM with correction of aberration, 3D lithography, Xray analysis
Adresse :
10 Boulevard Thomas Gobert
91120 Palaiseau, France
Lille
Salle blanche : 1 600 m² (ISO 5 à 7)
Thèmes de recherche principaux :
électronique (III/V, Si, souple, 2D, puissance), nanocaractérisation, photonique THz, MEMS-NEMS-BIOMEMS, Dispositifs pour l’énergie
Staff technique : 26 techniciens/ingénieurs
Équipements spécifiques :
Lithographie (e-beam, Laser, UV), Soft lithographie, PVD, PECVD, LPCVD, ALD, RIE, ICP, DRIE, épitaxie III/V, Implantation Ionique, FIB, AFM/STM, STM 4 pointes, L2, Ablation laser, Packaging
Adresse :
Cité Scientifique
avenue Poincaré BP 60069
59652 Villeneuve d’Ascq Cedex
Contact : accueil-projets@iemn.fr
Toulouse
Salle blanche : 1 600 m² (ISO 4 à 6)
Thèmes de recherche principaux : intégration de systèmes : RF, énergie photonique, micro et nanosystèmes pour la biologie, santé et environnement
Staff technique : 30 techniciens/ingénieurs
Équipements spécifiques : Lithography (E-beam, Laser 2D, 3D , UV par projection, FLICE, bi-photons), PVD, Dépôts électrolytiques, PECVD, LPCVD, ALD, DRIE, implantation ionique, FIB, Jet d’encre, Packaging.
Adresse :
7, avenue du Colonel Roche
BP 54200
31031 Toulouse Cedex 4
Grenoble
Salle blanche : 1 200 m² (ISO 4 à 6)
Thèmes de recherche principaux : opto et nano-électronique, spintronique, photonique, nanosystèmes pour la Santé, l’Environnement et l’Energie
Staff technique : 30 techniciens/ingénieurs
Plateformes technologiques :
- GECCO 200-300 : Procédés avancés compatibles 300 mm (MOCVD, gravure par plasma, XPS quasi-in situ, Raman, FIB-SEM…)
- PTA : Procédés génériques pour la réalisation d’un composant jusqu’à 100 mm (lithographie électronique, optique, gravure et dépôt, packaging…)
- CAMELEON : Procédés exploratoires et prototypage (Caractérisation thermique, électrique, physico-chimique et de surface, lithographie UV et laser 3D, PVD…)
Adresse :
Laboratoire des Technologies de la Micro-électronique, UMR5129
c/o CEA-Leti Minatec
17 avenue des Martyrs
38054 Grenoble cedex 9
Contact :
camille.petit-etienne@cea.fr
Besançon
Salle blanche : 865 m² (ISO 5 à 7)
Thèmes de recherche principaux : Micro- et nano-acoustique, micro-nano-optique, microrobotique, sillicium, MOEMS
Staff technique : 12 techniciens/ingénieurs
Équipements spécifiques : AIN deposition, E-Beam lithography, Spray coating, Dry plasma etching (Si, quartz, LINbO3),FIB,
Wafer bonding, Precision dicing, Mechanical characterization, Industrial production line for plezoelectric components.
Adresse :
Centrale de Technologie
MIMENTO TEMIS-Innovation
Maison des Microtechniques
18 rue Alain Savary
25000 Besançon
Contact : mimento@femto-st.fr
RENATECH à l'international
En Europe des centrales de technologie ont émergé dans différents pays : Suède, Royaume uni, Espagne, Italie, Allemagne… Le recensement de ces grandes centrales en Europe susceptibles de faire partie d’un réseau a été initié en 2017 par le CNRS.
RENATECH a participé à la mise en place d’une offre d’accès à un réseau à l’échelle européenne : le consortium « EuroNanoLab » (https://euronanolab.eu/ ) qui comporte 44 salles blanches européennes académiques en accès ouvert rattachées à 14 pays.
Depuis 2021, RENATECH est partenaire d’un réseau européen https://nffa.eu/about/ permettant aux chercheurs de relever des défis complexes en matière de nanosciences qui ne peuvent être relevés par une seule infrastructure de recherche. Ce réseau donne un accès combiné aux ressources de nanotechnologies et de nanocaractérisations avancées des laboratoires universitaires et de centres de recherche concurrentiels à l’échelle internationale et des installations analytiques à grande échelle (FPA) à l’état de l’art.
Cette organisation à l’échelle européenne, permet de positionner RENATECH au niveau mondial, au même niveau que ses homologues américain (the National Nanotechnology Coordinated Infrastructure –NNCI), japonais (Nanotech Platform) ou australien (the Australian National Fabrication Facility network – ANFF).

Animation du réseau Renatech
Jean-Louis Leclercq – CNRS Ingénierie – Délégué scientifique en charge du réseau de micro-nanofabrication Renatech