IEMN VEND (5 000€ + transport) pulvérisation DP650 Alliance Concept + 7 cibles 6"

#1 · 26 novembre 2024, 18h38

Contact : marc.dewitte@univ-lille.fr

Bonjour,

L'IEMN se sépare d'une machine de pulvérisation DP650 Alliance Concept (+ les pompes et 7 cibles)

en raison de l'arrivée d'un nouvel équipement.

Dimensions : environ 180cm de large, 195 de long et 205-210 de haut

Caractéristiques :

- SAS d'introduction

- palette permettant la fixation de petits échantillons ou d'un wafer

jusque 4 pouces

- 4 cathodes planaires 6 pouces en configuration sputter up (cibles Cu,

Cr, Ni, Ti, Al, W, SiO2 données)

- Générateurs RF (oxydes, nitrures) et DC (métaux)

- 2 postes (froid et chaud)

- chauffage jusque 600°C

Pompage :

- primaire : 2 pompes sèches

- secondaire : pompe cryogénique (révisée en septembre 2024) + compresseur

Remarques:

Le bras de transfert permet le chargement et déchargement d'une palette

mais celle-ci ne revient pas parfaitement dans son logement et

nécessiterait une intervention d'AC pour améliorer le réglage.

Vous pouvez venir voir l'équipement sur site. Quoi qu'il arrive cet

équipement devra sortir obligatoirement de notre salle banche avant

avril 2025.

Prix : 5 000 € + transport

Contact : marc.dewitte@univ-lille.fr

#2 · 27 novembre 2024, 9h50

Bonjour Marc,

Nous sommes interesse, à la plateforme NanoRennes, par le bati de PVD, qui pourrait venir remplacer notre vieux reacteur de depot (Alcatel SCM 450).

On peut se contacter sous peu pour convenir des modalites, et plannifier tout ca.

Amicalement,

C. Paranthoen

Nanorennes