Vente 2 batis RIE OXFORD

#1 · 10 juillet 2025, 15h45

L'IEMN met en vente 2 bâtis de gravure RIE (CCP) fluorés.

Modèles: OXFORD PlasmaLab 80+

Année d'achat: 2005 et 2007

Puissance RF max: 600W

Diamètre électrode: 240 mm, couvert avec un plateau Quartz.

Pompage:

RIE1: TP Adixen ATP400 + primaire Adixen A103P

RIE2: TP Leybold Turbovac 400C + primaire Adixen A103P

Les deux bâtis ont été upgradés en 2020-2021: remplacement de PLC (X20), ordinateur, soft (version PC4500), Windows 10

Lignes de gaz:

RIE1: SF6, CHF3, CF4, N2, Ar, O2

RIE2: SF6, CHF3, CF4, N2, Ar, O2, H2, He

Utilisation:

RIE1: SiO2, SiN, Si, résine discumming, polymères
RIE2: SiO2, SiN, Si < 300 nm

Les bâtis sont en bon état, fonctionnels, SAV réguliers.

Prix: 15 k€/bâti, enlèvement+transport sont en charge de l’acquéreur.

Pour plus de détails merci de contacter :