Don DWL 200 fonctionnelle
Bonjour,
Dans le cadre du renouvellement de notre parc, le LAAS met à disposition une lithographie laser Heidelberg Instruments DWL 200 (2005). Cette machine, actuellement fonctionnelle, sera remplacée en septembre par une MLA 150.
Caractéristiques principales :
Réalisation d'environ 400 masques/an depuis 2005
Résolution : 2 µm sur les masques
Tête d’écriture : 4 mm
Robot : chargement automatique de masques (modifiable par Heidelberg pour le chargement de wafers)
État général : bon
Laser d’écriture : très récent (mai 2026)
Maintenance : suivi annuel par Heidelberg (maintenance préventive)
Point à noter :
Une panne aléatoire et intermittente d’un AOM peut occasionnellement dégrader la rugosité des lignes verticales en résine (défauts de 1 à 2 µm).
Disponibilité :
L’équipement sera retiré de la salle blanche du LAAS début septembre 2026.
Les frais de remise en configuration par Heidelberg et de déménagement (depuis le LAAS) seront à la charge du laboratoire acquéreur.
Pour toute question ou pour vous positionner, n’hésitez pas à me contacter rapidement (avant les prochaines journées Litho-Gravure RENATECH à Grenoble).
Bonne journée
PF Calmon